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浅析压力变送器如何在半导体行业中使用

来源:编辑::发表时间:2019-11-23 09:41:24

    压力变送器法是一种使用惰性载气定量和分离汽化化合物的新方法。

    它的原理类似于柱渗透色谱法,其中样品溶解在流动相中并穿过多孔的固定结构。

    压力变送器法如何工作?
    待化合物从可渗透柱上洗脱下来的时间开始,对其进行定量和表征。

    该因素由几个特征确定,例如流体动力学行为,流动相中的浓度和分子量。

     标准色谱技术和压力变送器法之间的区别因素是使用蒸气代替流体作为流动相,使用液体而不是固定相的固体。

    非反应性气体,例如氢气(H)或氦气(He),被用作目标气化分子的载体。

    该气体组合物通过压力变送器仪的色谱柱,该色谱柱由惰性固体基质和微观流体膜组成。

    该塔根据蒸气与固定流体的亲和力及其机械特性来划分蒸气。样品组成部分的流通速率可用于化合物检测,纯化,鉴定和定量。

    在压力变送器中,利用检测器在可渗透柱的出口处以电子方式观察气体中的洗脱。

 

压力变送器.jpg

 

    这将分析化合物的保留时间(tR),以定性确定特定化学成分填充介质的吸附特征。

    半导体行业的压力变送器
    气体分析领域技术敏感性提高的原因是由于对半导体制造行业中大规模集成需求的增加而对化学纯度提出了极高的要求。

    这尤其是通过研究惰性半导体工艺气体中痕量的大气污染物来推动的。

    全面分析的性能(例如色谱分析所提供的性能)可以使您对目标气体中的污染水平有更多的了解。

    Environics的解决方案提供了对气瓶型气相产品进行常规质量控制测试的能力,具有筛选半导体行业使用的各种气体时所必需的灵活性,精确度和准确性。

    压力变送器法的挑战
    检测器的校准仍然是压力变送器法中不断挑战之一。

    几种类型的检测器与压力变送器仪集成在一起,包括火焰离子化检测器,热导率检测器和火焰离子化检测器。

    这些系统中的每一个都在不同的概念上实行,并且必须进行校准以高选择性和实时地检测微观气体浓度。

    压力变送器仪校准的性能需要专用的气体混合器来产生具有所需浓度的测试流动相。

    这取决于应用领域。典型的压力变送器研究需要质量精度水平达到百万分之一(ppm)和十亿分之一(ppb)的范围。混合器还必须具有匹配首选热质量流速和测试条件压力范围的能力。

    Environics的压力变送器解决方案
    Environics在制造用于压力变送器仪校准的分隔器,气体混合器和稀释器方面拥有数十年的经验。

    的4000型系统是十倍大于平均热质量流量计更精确和可定制,以所关注的气体的特性。

    这提供了可靠的目标化合物检测和浓度水平的预备观察,同时建立了可重复且精确的校准曲线。

    大家的零空气发生器(ZAG)专为优化压力变送器仪的灵活性和经济高效的校准而创建。

    它们以每分钟20升(SLPM)的流量和30psi的压力提供一致的无污染空气流。它们可以用作独立系统,也可以与现有的压缩空气源集成。

    Environics的压力变送器仪校准系统范围包括:
          4000系列多组分气体混合系统
      4020系列计算机气体混合和稀释系统
      4040系列气体稀释系统
      7000系列独立ZAG

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