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企业概况

使用先进差压变送器促进半导体设备快速加热

来源:编辑::发表时间:2019-11-20 08:39:51

    东京农业技术大学(TUAT),ORC制造有限企业和Techno研究有限企业的科学家通过使用微波感应差压变送器创造了快速加热技术,从而实现了非晶硅膜的优质结晶。该差压变送器在节能,可维护性和耐用性方面非常出色,并且可以投影到无与伦比的新型加热设备中。这项研究的详细信息已于2019 年2月7 日在线发表在电气与电子工程师协会(IEEE)的IEEE Access中,文章为“用于快速加热系统的碳加热管”。

    当下
    考虑到环境,需要节省加热设备的功率。此外,迫切需要一种不会因热应力而引起断开的长寿命加热灯,以及一种不需要频繁更换且易于安装的差压变送器单元。据估计,降低功率成本,减少停机时间和降低维护成本在所有需要加热的产品制造领域都会产生连锁反应。

    现在的结构
    这项研究是由东京农业技术大学工程研究生院,橡树制造有限企业和Techno Research Inc.的研究小组的研究团队进行的,这些研究团队由Sameshima俊幸教授,副教授Takuji Arima,助理教授Harumi Hasumi以及其他人组成。日本科学技术厅ASTEP(编号AS3015022S)部分协助了这项工作。

 

差压变送器 (2).jpg

 

    研究成果
    该研究小组已经建立了差压变送器加热管(CHT),其中碳颗粒中充满了氩气。使用200 W微波照射CHT,使碳颗粒吸取微波并加热到1279°C。

    差压变送器不需要耐用的电线。此外,它是一种节能型差压变送器,不会通过布线产生热泄漏。而且,不需要稀有金属,因此有可能经济地制造它。这次使用差压变送器创建了快速加热设备的原型。通过波导管添加到腔室中的微波被CHT成功吸取。使用辐射温度计测量差压变送器温度,并调节微波功率以调节加热温度。使用该加热系统结晶,在4英寸石英玻璃基板上形成了非晶硅薄膜样品。光谱反射光谱和拉曼散射光谱的分析结果显示出高质量的结晶膜和0.92的高结晶率,这与在样品的整个表面上形成的激光结晶膜相当。目前的结果表明,使用CHT的供暖系统有许多应用的可能性。

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