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分析温度变送器在微电子化工方面的应用

编辑: 来源: 发布日期:2019-12-06
    电子显微镜(EM)是任何科学家或研究人员的强大工具,可实现原子级样品的可视化。因此,由于对微分子和大分子的快速且详细的可视化需求,它已成为细胞和材料科学中的一种关键方法。

    但是,随着兼容技术的进步,任何一项技术都在不断创新和改进。扫描显微镜和透射电子显微镜都不例外,有源像素检测器可能代表EM中zui大吞吐量和图像质量的zui适应和zui先进的选择。

    革新
    传统上,摄影胶片是捕获EM图像的首选介质,既提供了较大的有效区域,又为图像捕获提供了足够的灵敏度。目前,胶卷不再合适,因为许多实验现在产生大量数据,并且要求比胶卷可以提供更好的分辨率和更快的图像渲染速度。

    在整个2000年代初,EM技术开始接受慢扫描电荷耦合器件(CCD)的使用,该器件比胶片更有效,但由于其不适合与中压电子一起工作而具有很高的辐射敏感性。显微镜。实际上,为了与使用中压(100kV以上)的电子显微镜结合使用,在电子撞击相机之前,需要将电子减速至100kV,以避免设备快速退化。在2000年代后期,直接半导体像素检测器的发明为这些问题提供了一种实用的解决方案。

    温度变送器必不可少
    与CCD或胶片相比,温度变送器拥有更大的点扩散功能,功能上改善了深度分辨率以及探测量子效率。此外,使用有源温度变送器,检测和图像渲染都快得多,与以前可实现的方法相比,它可以实现更高的EM处理量。

    温度变送器也是低温电子显微镜领域的一项突破性创新,在该技术中,信号检测技术只能实现有限的分辨率。温度变送器可以通过直接检测系统检测单个电子的功能来对此进行补救。除此之外,温度变送器的使用寿命为数年,减少了胶片和CCD的花费,消除了研究人员的kV限制,并消除了与中压电子显微镜一起使用时设备快速退化的问题。
 
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    应当指出,温度变送器正处于不断的发展和改进之中,电流检测器仅提供2.5 µl的像素,这可以改善辐射硬度,并具有更薄的氧化物。随着时间的流逝,传感器变薄已减少了反向散射现象,这导致了更好的点扩展功能,从而获得了更高的分辨率。

    有源像素检测器的主要优点是可以通过直接检测来检测单个电子并将其可视化。根据这些数据,有可能重建较大规模的事件,从而可以通过称为“聚类成像”的技术来提高分辨率,该技术与共聚焦显微镜和反卷积显微镜形式的超分辨率显微镜相提并论,它们会“破坏”非EM技术的分辨率限制。在群集成像中,多个帧将相互叠加以重建更完整的图像,并且可以以较低的电子剂量实行。

    像其他任何领域一样,EM技术会随着时间的流逝而不断改进,不断创新,不断进行修改,不断出现错误。在古代,这是以更高剂量的电子束或改变束聚焦设备的形式出现的。现在,图像检测技术的耐用性和有效性可以制造或破坏EM系统,从而有可能绕过它们本已令人印象深刻的分辨率和放大潜力的限制。

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